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                  MueTec的掩膜检测使用的是Die-to-Die的方法,检测掩膜上统计类型的缺∩陷。该系统用※于监视在功率半导体、LED和MEMS领域中的晶圆制造使用的掩膜

                  MueTec的系统可帮助客户确定掩膜状态,是否良好,是否需要清洁或更∑换。


                  PRODUCTS
                  • Spector
                    封闭式自动检测系统
                    Spector

                    典型应用

                    掩膜缺陷检测


                    主要特点

                    全封闭式系统

                    最多可支持2个吊舱或盒ζ式工作站

                    基于Die-to-Die的自动检◣测

                    分辨率最高可达0.5μm

                    最大可支持掩膜尺寸为14英寸

                  • Spector A
                    开放式自动检测系统
                    Spector A

                    典型应用

                    掩膜缺陷检测


                    特征

                    开放式系统

                    机械手掩ζ膜搬运

                    全自动掩膜检测

                    基于Die-to-Die的自』动检测

                    分辨率最高可达0.5μm

                    最大可支持掩膜尺寸为14英寸



                  • Spector M
                    开放式半自动检测系统
                    Spector M

                    典型应用

                    掩膜缺陷检测


                    特征

                    开放式系统

                    手动掩膜装卸

                    全自动掩膜检测

                    基于Die-to-Die的自动检测

                    分辨率最高可达0.5μm

                    最大可支持掩膜尺寸为14英寸